duv光刻机能生产多少nm

Duv光刻机能生产最小线宽（即最小特征尺寸）的大小通常在100纳米左右，但是一些高端的Duv光刻机可以生产出更小的线宽，最小甚至可以到50纳米以下。需要注意的是，不同的Duv光刻机的生产能力可能不同，而且制程技术和材料等因素也会影响最小特征...